石英ガラスの厚さ測定 Application Notes - Ultrasonic Thickness Measurement
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石英ガラスの厚さ測定
石英ガラスは、金属不純物の割合が極めて少ない透明度の高いガラスで、耐熱性と耐薬品性に優れています。特に耐熱性については、1,000℃もの高温に耐えることができます。
石英ガラスは、溶融石英や溶融シリカ、シリカガラスとも呼ばれ、ビーカーやフラスコなどの理化学用途、照明・光学用途、半導体工業などで使用されています。
超音波厚さ計を用いることで、傷つけることなく非破壊で石英ガラスの厚さを測定することができます。
測定方法
石英ガラスは、超音波の伝達に優れており、超音波厚さ計での測定に適した材料です。
一方、石英ガラスの厚さ測定では湾曲部の測定が中心に行われており、一般的な厚さ計ではその形状のため、測定が難しい場合があります。
ここでは、石英ガラスの厚みと形状に最適な装置とトランスデューサー(プローブ・探触子)の組み合わせを紹介します。
厚さ:1mm以上 形状:平坦、なだらかな湾曲
超音波厚さ計ZXシリーズと、10MHzのトランスデューサーの組み合わせで測定します。
なだらかな湾曲部は問題なく測定することができますが、もし測定値が安定しない場合は、トランスデューサー(プローブ・探触子)の接触向きを変えることで、測定値が安定する場合があります。
厚さ:0.3mm以上 形状:平坦、ならだらかな湾曲
超音波厚さ計PZX-7またはPVXと、15MHzまたは20MHzの遅延材(ディレイラインチップ)付きトランスデューサーを使用します。
厚さ:0.5mm以上 形状:平坦、湾曲
超音波厚さ計PVXと、ペン型トランスデューサーを使用します。